气体激光器测试

• 测试要求：客户测试HF气体激光器的测试范围是2600-3200nm，因此，AQ6375L是比较合适的选择。
• 测试对象：HF气体激光器功率较大，同时频率较低----不超过50Hz，持续时间较短----不超过5秒，占空比较低----瞬时峰值功率大。
• 测试难点：HF气体激光器谱线极多，尤其集中于2600-2900nm的范围内，而该光源由于占空比极低，频率低，使得测试结果会有若干谱线遗漏。
• 测试方案：AQ6375L是横河独有的长波长光谱仪，可以测试波长范围是1900-3400nm。针对以上情况，采用Max Hold测试模式，同时为了尽量缩短扫描时间，将Span分段，每次扫描100nm，同时注意控制输入功率。在使用AQ6375L测试后，客户表示是第一次测试到该光源的谱线，比较满意。

遗漏原因分析：

• 光谱分析仪属于光栅扫描类型，需要时间，虽然已经将设置调整为最快，但是对比光源的占空比和频率，依然比较慢，所以不能保证每次都能获得完整的谱线。
• 光源稳定性不够，开启几次后就需要换气，否则能量偏低。
• 谱线中有若干能量较强的容易被捕捉到，还有一部分能级较弱，容易遗漏，测试结果对比也说明了这一情况。
• 建议使用更高频率的触发器，或延长发光时间，改善结果。