镜面A点的反射由探测器A检测,B点的其它反射由探测器B检测。
使用TA320进行时距测量(A到B),可以评估电机(固定在多面镜上)的旋转抖动。使用TA320的时间变化显示可以对电机进行瞬时分析。
TA320设置
示例
长时抖动指示电机的旋转抖动。
短时抖动测量扫描镜旋转一次的数据,因此可评估每个表面变形引起的偏移。
设置
如果多面扫描镜的固定存在倾斜度,此倾斜度对通过V狭缝的反射激光束进行调制。
TA320可通过脉冲宽度分析倾斜度。
TA320设置
项目 | TA320优势 | |
扫描镜的旋转抖晃 | 时间变化显示 | → 分析旋转偏差 |
扫描镜表面的精度 |
持续测量 |
→ 可评估扫描镜的整个表面 |
扫描镜的固定精度 |
高分辨率 |
→ 高分辨率评估 |
TA320时距分析仪可持续测量信号的周期、脉冲宽度和时距,最高速率为14MS/s,最高分辨率为100皮秒。这种大屏幕液晶显示面板带有触摸屏,在测量和数据分析时能够直观、顺畅地操作。屏幕更新率高,可以立刻显示分析结果。