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激光束打印机 – 反射镜的旋转抖晃、镜面的精度、多面扫描镜的固定精度

扫描镜的旋转抖动/扫描镜表面的精度

镜面A点的反射由探测器A检测,B点的其它反射由探测器B检测。
使用TA320进行时距测量(A到B),可以评估电机(固定在多面镜上)的旋转抖动。使用TA320的时间变化显示可以对电机进行瞬时分析。

TA320设置

  • 功能:时间间隔 显示:时间变化

示例

长时抖动指示电机的旋转抖动。
短时抖动测量扫描镜旋转一次的数据,因此可评估每个表面变形引起的偏移。

多面扫描镜的固定精度

设置

如果多面扫描镜的固定存在倾斜度,此倾斜度对通过V狭缝的反射激光束进行调制。
TA320可通过脉冲宽度分析倾斜度。

TA320设置

  • 功能:脉冲宽度
项目 TA320优势  
扫描镜的旋转抖晃 时间变化显示 → 分析旋转偏差
扫描镜表面的精度
持续测量
→ 可评估扫描镜的整个表面
扫描镜的固定精度
高分辨率
→ 高分辨率评估

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TA320时距分析仪

TA320时距分析仪可持续测量信号的周期、脉冲宽度和时距,最高速率为14MS/s,最高分辨率为100皮秒。这种大屏幕液晶显示面板带有触摸屏,在测量和数据分析时能够直观、顺畅地操作。屏幕更新率高,可以立刻显示分析结果。

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