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对设计节能半导体设备的支持

根据美国的International SEMATECH对节能设计提出的要求,全世界开发半导体制程工具的公司都必须在开发过程中测量并节约能耗。在日本,SEAJ(日本半导体设备协会)已开始制定此类测量的标准。功率计必须具备高速采样能力,以在每个流程中测量功耗变化以及浪涌电流/功率。因此,PZ4000开始受到关注。

PZ4000和示波器一样,可实现主/从(EXT TRIG OUT/IN)配置的同时测量。提供的应用软件可控制最多四台仪器并可收集测量数据。这两个特点使PZ4000能够测量半导体制程工具等大型项目。除此之外,美国的International SEMATECH还要求测量以下项目:已逝时间 / 能量 / 平均电流THD / 最大视在功率 / 最大有效功率 / 最小功率因数 / 最大电流 / 平均视在功率 / 平均有效功率 / 平均功率因数 / 平均电流,等等。要满足所有要求,与应用软件和硬件的兼容性非常重要。(积分的计算方式是测量值的总和乘以更新周期。)


数据示例(摘自SEMATECH主页)

PZ4000及其软件的关键点

功率计的性能要求
  • 同时测量多个参数并计算输出数据
  • 获取上升波形(浪涌电流/功率)并进行计算
  • 同时测量多个通道(最多4个单元)

用户受益

  • 同时显示参数测量和测量项目的电压/电流波形,使用户能够预先确认设备的运行,以避免写入错误。

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PZ4000功率分析仪

PZ4000设计用于高频功率测量以及瞬时功率测量。此仪器的实时采集系统可执行按周期的功率测量。一到四个输入单元提供0.2%的基本精度,具备2MHz的带宽和5MS/秒的数字化速率。

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