OSA: 材料加⼯⽤グリーンレーザーの測定

グリーンレーザーは、532 nm（緑色）の波長の光を放射するレーザーで、材料加工やマーキングに使用されます。グリーンレーザーの波長は、スポットサイズを小さくできるため、微細加工を可能にします。また、グリーンレーザーは、金、銅、ニッケル、鉄などの金属の光吸収率が高い波長であるため、加工時の照射パワーを抑制でき、対象物へのダメージを軽減できるという特徴も持っています。

グリーンレーザーは、1064 nmの波長をもつ半導体レーザーやファイバーレーザーの励起光からSHG（Second harmonic generation、第二高調波発生）などの波長変換素子を使って、半分の波長（532 nm）を発生します。この原理から、出力光には励起光がいくらか含まれています。しかし、高精度加工に使用されるグリーンレーザーには、波長の唯一性が求めれるため、励起光成分は十分に抑制されている必要があり、励起光抑圧比として評価されます。

対象モデルは、532 nmと1064 nmを高分解能かつ広いダイナミックレンジで同時に測定できるので、グリーンレーザーの励起光抑圧比の高精度測定が簡単に行えます。レーザーマーキング装置やレーザー加工装置メーカーの開発部門や部品の受入検査部門、または装置メーカーに納入しているレーザーメーカーの開発や製造部門などでの光源の評価に有用です。