圧力コントローラ MC300

分割出力とオートステップ出力

本体のボタン操作だけで、設定した出力圧をn/mのように任意の分割数でステップ出力できます。検査対象のフルスケールに合わせて設定圧を決め、分割数を指定するだけで、ボタン操作によるステップアップ/ステップダウンが簡単に行えます。
さらに、オートステップ機能を使えば、設定したインターバルごとに自動で順番にステップ出力することも可能です。

オートステップ出力（スタートステップ：1/4）

スイープ出力とリピート機能

MC300のニードル制御は、任意の下限設定値から上限設定値まで途切れなく滑らかなリニア出力が行える点が大きな特長です。このリニア出力を自動で実行する機能がスイープ出力であり、圧力スイッチの作動点検証、メーター検査、目詰まりの確認など、さまざまな用途に活用できます。さらに、リピート機能を組み合わせることで、オートステップやオートスイープを継続的に繰り返し出力させることも可能です。

真空ポンプを使わない負圧出力

MC300は、一般的な圧力コントローラのように真空ポンプなどの負圧供給源を必要とせず、レンジの－1.2％まで負圧を直接出力できる点が大きな特長です。これにより、ゼロ点の微調整や、微小な負圧環境での規格試験など、さまざまな用途で活用できます。

－2.4 kPaから10 kPaにスイープ出力（200 kPaレンジモデル）

出力状態のモニター機能

出力状態を画面上と外部出力信号の両方でモニターすることができます。出力中の圧力値は画面上にリアルタイム表示し、同時にアナログ電圧でも出力可能です。また、圧力値が設定した圧力範囲に達して安定すると数字が白から緑になり、コンパレータ出力が変化します。作業性が向上し、外部機器との連携によるシステムアップ時にも有効です。

血圧計の開発、検査

MC300には生体圧力計測向けのオプションが用意されており、血圧計で一般的に使用されるmmHg単位での設定・表示に対応しています。また、血圧計の検査に求められる測定範囲・精度・分解能を十分に備えているため、血圧計や血圧測定機能を持つ医療機器の生産・開発用途に活用できます。さらに、MC300は真空ポンプを使用せずに負圧を発生できるので、規格で求められる負圧環境下での機能検査を1台で実施することも可能です。さらに、MT300を使って検査デバイス近傍の圧力をモニタリングすることで、より高精度な検査環境を構築できます。

＃生体圧力計量機器用オプションの仕様コード： /MD

圧力変化法を用いた容器の漏れ試験

筐体の防水・防塵性能を評価するため、各種容器の開発では漏れ試験（気密試験）が行われます。圧力変化法による漏れ試験では、規定の開始圧に加圧した後、所定時間が経過した時点での圧力が閾値内に収まっているかを確認します。そのため、開始圧を毎回正確に一定に保つことが、漏れ量を正しく評価するうえで非常に重要です。MC300は設定圧までスムーズかつ高い再現性で加圧できるため、出荷検査のように多数の製品を測定する場合でも、開始圧のばらつきによる誤差を抑え、安定した試験結果を得ることができます。

水位計の開発、検査

水位計の開発や検査においては、実際に20 m などの水位を用意することは難しいことから、圧力コントローラで空気圧を加えて水中環境を疑似的に再現します。水位計では比較的大きな圧力がかかるため、過大圧や加減圧時のヒステリシスに特に注意が求められます。
MC300は設定圧まで低オーバーシュートかつ高速に加圧することが可能であり、ヒステリシスも非常に小さいので、水位計に求められる高品質な圧力制御を安定して実現します。

差圧・圧力伝送器の自動校正

プラントのプロセス管理で使用される差圧・圧力伝送器は、高精度かつ高い安定性が求められる機器です。そのため、これらを校正する際に使用する基準器にも、同等以上の性能が必要となります。校正作業では、対象となる伝送器と基準器（高精度圧力計）に圧力を加えるため、ハンドポンプや圧力コントローラが使用されます。MC300は差圧・圧力伝送器の校正に必要な高精度かつ高安定な圧力印加を実現し、オートステップ機能を活用することで、複数点の昇圧・降圧試験を低ヒステリシスで高精度に行うことができます。さらに、MT300を併用することで、より精度の高い比較校正が可能となり、校正作業の自動化も実現できます。加えて、MT300には24 V 電源供給機能と電圧・電流測定機能が搭載されているため、外部電源やマルチメータが不要となり、校正設備のコンパクト化に貢献します。

横河独自で開発・設計したシリコンレゾナントセンサ搭載により
高確度、高分解能、そして長期にわたる安定した圧力制御を実現

安定した圧力制御には、出力圧をモニターしてフィードバックするための高精度な圧力センサーが最も重要です。MC300に搭載されているシリコンレゾナントセンサは、安定性・再現性・感度・温度特性など『正確な計測』に要求される条件を満足する優れた特性を持ち合わせています。

高い感度と分解能、優れた長期安定性
振動子が真空状態に置かれているため、振動エネルギーの放散が減少し、単結晶シリコンの優れた弾性特性との相乗効果で高いＱ値を得る事ができます。

極めて小さい温度依存性
2個の振動子を使用し、圧力は２つの固有振動数の差から求める差動方式をとっており、周囲温度のような外部環境の影響を相殺できます。また振動子が真空状態にあり、周囲温度や湿度などの影響を受けません。

シリコンウエハ上に半導体プロセス技術で作られた振動子を永久磁石で励振し、Siダイヤフラムに圧力が加えられると振動子に歪が発生し、共振周波数が変化します。

ニードルバルブ制御

MC300は圧力制御部にニードルバルブ方式のサーボ弁を採用しており、供給された空気の流量をニードルバルブのニードル位置で調整することによって出力圧を制御します。連続的なニードル動作は、設定圧までの滑らかな加減圧を可能とします。また、ニードルバルブによるMC300の圧力制御は、部品の摩耗を促進する高速な開閉動作などを伴わないため、長期に渡り安定した稼働を実現します。

一般仕様

• 表示器：4.3型 TFTカラーLCD
• ウォームアップ時間：5分以内
• 使用温湿度範囲：
• 5～40℃、20～80%RH　ただし結露なきこと
• 使用高度範囲 2000m以下
• 保存温度範囲：-20～60℃　ただし結露なきこと
• 電源：100～120V AC / 200～240V AC, 50/60Hz （定格）
• 外形寸法：約213 mm（W）× 132 mm（H）× 400 mm（D）（突起部含まず）
• 質量：約7.5kg

主な圧力出力仕様

• 確度：±0.05％ of full scale
• 相対確度^*1： ±0.04％ of full scale
  *1横河の作業用計測器に対する相対値
• 最小設定分解能：
  -G01(10kPa ゲージ圧モデル)：0.001kPa
  -G03(200kPa ゲージ圧モデル)：0.01kPa
• 確度保証範囲：
  -G01(10kPa ゲージ圧モデル)：0～10kPa
  -G03(200kPa ゲージ圧モデル)：0～200kPa
• 出力設定範囲：
  -G01(10kPa ゲージ圧モデル)：－0.12 kPa〜12 kPa
  -G03(200kPa ゲージ圧モデル)：－2.4 kPa〜240 kPa
• 圧力表示単位：
  -U1選択時：Pa,hPa,kPa,MPa,mbar,bar,atm
  -U1と/MD選択時：Pa,hPa,kPa,MPa,mbar,bar,atm,mmHg,
  　　 　　 　　 　　cmHg,mHg,mmH2O,cmH2O,mH2O,mTorr,Torr
• 供給圧力源：
  乾燥空気、温度5〜40℃、温度変化の少ないこと、フィルタ付き減圧弁を使用し、安定した供給圧を入力すること。

生体圧力単位表示（ /MDオプション）

生体内圧力計量機器、または血圧計量機器の開発・生産などの用途を目的に、「生体内の圧力の計量」、「血圧の計量」に限定して法定計量単位として認められている非SI単位（mmHg、cmH2O など）を表示可能です。
※ 追加された単位は、「生体内の圧力の計量」、「血圧の計量」に限定して法定計量単位として認められています。これらの単位は、定められた用途以外では非法定計量単位になりますので、異なる用途には使用しないようご注意ください。

記載内容は2026年2月10日現在のものです。また、お断りなく変更することがありますのでご了承ください。
価格には別途消費税が加算されます。